초정밀 환경제어 시스템

나노/마이크로급 제조 환경에서 열변형으로 인한
편차 제로화 환경 조성용 초정밀 환경제어 원천기술의 국산화에 성공하였습니다.

지능형 산업용 초정밀 환경제어 시스템

내부 온도 안정성 (PID제어기법) : ±0.1°C (Min. 8 hour)

모니터링 시스템 : 센싱 및 모니터링 (≤5 Err%)